反滲透水處理設備（膜分離）技術的應用使反滲透超純水設備從傳統(tǒng)的陽離子交換器、脫碳、陰離子交換器、復合離子交換器得到了一次進步。近年來開始在國外推廣應用的EDI（電去離子）技術，則是超純水制造技術的一次革命，從此進入了一個無需再生化學品，而能生產出高達18MΩ·CM的超純水，用于半導體、集成電路等行業(yè)。國家經委也已將RO + EDI 成套技術的應用列入國家重點推廣范圍，對使用的企業(yè)給以政策上的優(yōu)惠.

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