光學(xué)薄膜是指利用光學(xué)干涉原理在光學(xué)玻璃基底上鍍制的一層或多層介質(zhì)或金屬薄膜，以改變光線傳遞特性，包括光的反射、透射、吸收、偏振等。光學(xué)薄膜器件是各種光學(xué)儀器、圖像顯示產(chǎn)品、光學(xué)存儲設(shè)備的核心部件。目前，光學(xué)鍍膜及膠合工序通常在千級潔凈等級環(huán)境下完成。

光學(xué)薄膜器件制造工藝流程精密光學(xué)薄膜器件的面型精度通常要求0.001~ 0.100μm，角精度秒級，表面粗糙度達到0.012 5μm，甚至更高。若精密光學(xué)薄膜器件出現(xiàn)表面缺陷，勢必會增加光學(xué)表面的散射和對入射光的吸收，繼而直接影響整個光學(xué)系統(tǒng)的性能，而表面顆粒物是導(dǎo)致器件表面出現(xiàn)缺陷的重要原因之一。

首先利用超聲波清洗機的超聲波空化作用和清洗劑的清潔脫水作用，實現(xiàn)玻璃表面的高度潔凈，然后將清潔好的基片裝到鍍膜卡具上，利用光的干涉原理在光學(xué)零件表面上沉積一層 （或多層） 金屬（或介質(zhì)） 薄膜，最后根據(jù)光學(xué)薄膜器件結(jié)構(gòu)，使用環(huán)氧樹脂膠對多片光學(xué)薄膜鏡片半成品黏合，并 將組合的濾光片裝配在金屬外殼中。精密光學(xué)薄膜器件的鍍膜及膠合過程對生產(chǎn)環(huán)境的空氣潔凈度要求非常高。其中，基片組裝、光學(xué)鍍膜、膠合裝配工序均需要在潔凈環(huán)境下完成， 以避免光學(xué)薄膜器件出現(xiàn)表面缺陷，繼而影響器件乃至整個光學(xué)系統(tǒng)的性能，同時在超聲清洗工藝環(huán)節(jié)用到的洗劑及脫水劑、鍍膜過程用到的硫 （氟）化物等鍍膜材料以及在裝配膠合工序用到的酒精均會對生產(chǎn)環(huán)境造成污染，需要進行局部排風(fēng)收集處理后排放。

光學(xué)薄膜器件生產(chǎn)線功能區(qū)劃分

根據(jù)光學(xué)薄膜器件工藝流程對新建生產(chǎn)線進行功能區(qū)劃分，鍍膜設(shè)備放置在機組區(qū)，不會對光學(xué)薄膜器件質(zhì)量產(chǎn)生任何影響，凈化等級設(shè)定為十萬級。產(chǎn)品流方面，基片在超聲清洗區(qū)洗凈后，通過傳遞窗傳送至基片裝卡區(qū)進行裝片，然后運送至光學(xué)鍍膜區(qū)裝機并對基片實施鍍膜作業(yè)，鍍制后的半成品轉(zhuǎn)入膠合裝配區(qū)進行多片鍍膜器件膠合組裝作業(yè)。為降低空調(diào)能耗，節(jié)約日常運行成本，超聲清洗區(qū)潔凈度等級設(shè)計為萬級，在清洗區(qū)終端裝配風(fēng)機過濾機組（Fan Filter Unit，F(xiàn)FU）局部凈化單元，確保清潔后的基片處于千級凈化等級環(huán)境下；基片裝卡區(qū)及光學(xué)鍍膜區(qū)潔凈度等級為千級；膠合裝配區(qū)潔凈度等級設(shè)計為萬級，并在膠合裝配工序上方裝配FFU局部凈化單元，使裝配膠合作業(yè)區(qū)達到千級凈化等級，以滿足整個作業(yè)過程潔凈度的需求。

各功能區(qū)環(huán)境參數(shù)設(shè)計

光學(xué)薄膜器件在制造、生產(chǎn)過程中對室內(nèi)環(huán)境空氣品質(zhì)的要求嚴格，生產(chǎn)線各功能區(qū)潔凈度等級、風(fēng)量、溫度、濕度、壓差、設(shè)備排風(fēng)均應(yīng)滿足光學(xué)薄膜器件的生產(chǎn)工藝需求。在這一生產(chǎn)線潔凈方案設(shè)計中，主要以控制微粒和浮塵為主要對象，同時還對其環(huán)境的溫濕度、新鮮空氣量、噪聲等作出了嚴格的規(guī)定。

需要說明的是，各功能區(qū)對溫濕度、排氣、照度、氣體排放等環(huán)境需求依據(jù)GB 50073-2013《潔凈廠房設(shè)計規(guī)范》以及產(chǎn)品特性、生產(chǎn)工藝要求等因素來進行設(shè)計，同時給出了排氣功能區(qū)需要局部排氣的氣體類型。

潔凈室 HVAC 系統(tǒng)及其實現(xiàn)形式

潔凈室HVAC系統(tǒng)流程萬級、十萬級凈化空調(diào)采用一次、二次回風(fēng)系統(tǒng)（見圖5），一次回風(fēng)與新風(fēng)混合并經(jīng)過表冷器處理后達到機器露點狀態(tài)后再與室內(nèi)回風(fēng)混合一次，控制混合比即可達到室內(nèi)送風(fēng)狀態(tài)，該系統(tǒng)可以減去一次加熱，避免冷熱抵消的情況發(fā)生，適合超聲清洗及膠合裝配作業(yè)室內(nèi)環(huán)境控制。

千級潔凈室供熱通風(fēng)與空氣調(diào)節(jié)（Heating, Ventilation and Air Conditioning，HVAC）采用組合 式新風(fēng)機組 風(fēng)機過濾機組 干盤管 （MAU FFU DC）系統(tǒng)方式實現(xiàn)（見圖6），即新風(fēng)通過新風(fēng)機組集中處理送至靜壓箱與干盤管處理后的回風(fēng)混合，再通過FFU送入室內(nèi)。其中MAU承擔(dān)除濕功能，F(xiàn)FU的風(fēng)量承擔(dān)凈化風(fēng)量和空調(diào)（降溫）風(fēng)量角色，DC主要負責(zé)溫度的控制。該系統(tǒng)具有凈化等級高、溫濕度精度高、風(fēng)量大、節(jié)能、FFU過濾器更換方便等特點，更適合面積大、凈化級別高、風(fēng)量需求大的光學(xué)鍍膜生產(chǎn)線。

結(jié)合整個生產(chǎn)線的運行特點，并且充分考慮整個空調(diào)系統(tǒng)能耗，按照各功能區(qū)的潔凈等級及溫濕度需求，整個光學(xué)鍍膜生產(chǎn)線核心功能區(qū)共設(shè)計了3套HVAC系統(tǒng)。其中，超聲清洗區(qū)和機組區(qū)共用一套系統(tǒng)，基片裝卡區(qū)和光學(xué)鍍膜區(qū)共用一套機 組，膠合裝配區(qū)設(shè)計一套機組。

換氣次數(shù)及新風(fēng)量

潔凈空調(diào)系統(tǒng)氣流組織為亂流型，空氣處理機 組采用雙層金屬保溫壁板組裝式空調(diào)機組，外壁板為彩鋼板。采用上送下回方式，在離地 200 mm 處設(shè)置回風(fēng)口 （帶過濾網(wǎng)）。根據(jù)凈化要求，各功能 區(qū)換氣次數(shù)確定為：十萬級換氣次數(shù) 15 次/h，萬級30 次/h，千級 60 次/h。潔凈房間風(fēng)量根據(jù)空調(diào)熱平衡計算風(fēng)量和凈化換氣次數(shù)所需風(fēng)量。新風(fēng)量為補償室內(nèi)排風(fēng)和保持室內(nèi)正壓值之和，并且保證室內(nèi)每人每小時的新鮮空氣量不小于40 m3。恒溫恒濕空調(diào)系統(tǒng)送風(fēng)量根據(jù)人員所需新風(fēng)量、補償排風(fēng)和保持室內(nèi)正壓所需新風(fēng)量之和以及新風(fēng)除濕所需新風(fēng)量。

空調(diào)通風(fēng)系統(tǒng)測量及控制

空調(diào)通風(fēng)系統(tǒng)的風(fēng)量控制：凈化空調(diào)系統(tǒng)送風(fēng)機配有變頻控制器，送風(fēng)總管上設(shè)有風(fēng)量傳感器。風(fēng)量傳感器的輸出信號控制變頻器，調(diào)節(jié)風(fēng)機轉(zhuǎn)數(shù)，使系統(tǒng)風(fēng)量保持設(shè)計要求�？照{(diào)系統(tǒng)的溫濕度控制及監(jiān)測：凈化空調(diào)系統(tǒng)溫濕度自控方式采用回風(fēng)溫度的控制方式�；仫L(fēng)總管上設(shè)有溫度傳感器；表冷器、加熱器的回水管上 設(shè)有電動二通閥。在夏季時，回風(fēng)溫度控制表冷器冷量，達到控制室內(nèi)溫度要求；在冬季時，回風(fēng)溫度控制加熱器的加熱量，達到控制室內(nèi)溫度要求。

本文依據(jù)GB 50073-2013《潔凈廠房設(shè)計規(guī) 范》，并結(jié)合光學(xué)薄膜濾光器件生產(chǎn)工藝需求對生產(chǎn)環(huán)境的潔凈技術(shù)進行設(shè)計，并綜合考慮了一次性投資及運行成本。在后續(xù)詳細設(shè)計中，可以結(jié)合具 體情況進行進一步改進，以確保潔凈廠房滿足光學(xué)薄膜器件生產(chǎn)需求。

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江西天加凈化工程有限公司一直秉承“誠信、優(yōu)質(zhì)、高效、創(chuàng)新”的理念；從設(shè)計、規(guī) 劃、工程材料采購到每個施工安裝環(huán)節(jié)均有嚴格的操作程序和規(guī)范，力求精益求精，使項目在符合客戶要求的基礎(chǔ)上降低項目后期使用成本，搞高使用 效率，以及為我們的客戶帶來效益更大化，從而達到雙贏。

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