ITO導電玻璃真空鍍膜流水線

該系統(tǒng)專門針對玻璃鍍ITO膜設計，分為9個真空室：進料室、輝光清洗室、過渡室、SIO2濺射室、過渡室、ITO濺射室、傳輸室、緩沖室、出料室。系統(tǒng)整體設計嚴格，采用分子泵高真空機組，可配備高濺射效率的平面靶或旋轉靶，采用直流濺射或中頻濺射，可以率的濺射AL膜、ITO膜、SIO2膜、銀膜、鉻膜、TiO膜等。

一、工藝膜系：

單面結構：Glass/ ITO/SiO2/MoAlMo/ITO/ SiO2

雙面結構：SiO2/MoAlMo/ ITO/Glass/ITO/MoAlMo/ SiO2

二、設備主要技術參數(shù)：

真空連續(xù)式鍍膜流水線配置表
序號	項目	規(guī)格及說明
1	設備主體
1.1	外形尺寸	15.6m*2.4*1.6m（長*寬*高）
1.2	整體重量	17噸
2	傳輸部分
2.1	工件盤尺寸	1210*600mm
2.2	驅(qū)動電機	LENZE MDSKSRS036-13
3	真空系統(tǒng)
3.1	預抽真空組	PAC250+WKP500A
3.2	高真空分子泵	TMH1001和TMH521
3.3	冷凝泵	POLYCOLDPFC-1102HC
4	真空壓力檢測
4.1	皮拉尼規(guī)	TPR 265
4.2	全量程檢測真空計	PKR251
4.3	過程壓力測量	MKS Baratron627B
4.4	壓力安全開關	PN3009
5	氣流控制系統(tǒng)
5.1	氣流量控制器	MKS質(zhì)量流量控制器
6	濺射系統(tǒng)及電源
6.1	輝光清洗電源	霍庭格 TIE 10/100P
6.2	濺射電源	霍庭格 TIG DCS30
6.3	清洗電極尺寸	580*160
6.4	陰極濺射靶尺寸	900*240
7	自動化控制系統(tǒng)
7.1	上位機	SEMITIC PANEL PC670
7.2	可編程控制器	西門子 PROFIBUS 網(wǎng)絡 S-318CPU
8	外圍配置及要求
8.1	電源輸入要求	380V 240KW
8.2	冷水機	K-2-38/5-2
8.3	壓縮空氣	壓力6-7BAR2-3立方/小時

三、ITO膜層性能：

透過率：≥93%

方電阻：100±10

表面硬度：≥3H

膜層厚度：1500±200A

主營行業(yè)：玻璃生產(chǎn)設備 // 鍍膜玻璃生產(chǎn)線 公司注冊地址： 法人代表：
員工人數(shù)： 廠房面積： 年營業(yè)額：
年進口額： 年出口額： 主要市場：
客戶群：
公司名稱:深圳市昊光機電應用科技有限公司
注冊資本:人民幣1000萬元/年-人民幣2000萬元/年 公司網(wǎng)址：http://jnwming.glass.com.cn

聯(lián)系人：王明
電話：86-0755-26985162-813
移動電話：13631617125
傳真：86-0755-26991745
地址：龍崗區(qū)坪地鎮(zhèn)高橋產(chǎn)業(yè)區(qū)麻沙旭達工業(yè)區(qū)1棟
網(wǎng)址：http://jnwming.glass.com.cn

地區(qū)：廣東 深圳 龍崗區(qū)
網(wǎng)址: http://jnwming.glass.com.cn

光學透明材料具有質(zhì)量輕、耐沖擊強度高、易于加工成型等優(yōu)良特點，最常見的光學透明材料-有機玻璃(PMAA)是應用于航空透明件最為廣泛的材料之一，可加工制作成大尺寸、多曲率、視野寬闊的前風擋及座艙航空透明件，還包括各型復雜曲率的機身觀察窗、燈罩及各式儀表蓋等等；隨著科學技術的進步，航空器隱身技術的發(fā)展，以及未來電子電磁對抗，實現(xiàn)電磁屏蔽功能的需要，有機玻璃透明件作為機身的重要組成構件之一，也必須實現(xiàn)隱身功能，以適應未來的戰(zhàn)爭環(huán)境。因此，在有機光學材料特別是航空有機玻璃表面鍍制各類導電膜層，是實現(xiàn)航空透明件隱身的重要手段之一。長期以來，由于航空有機玻璃的耐溫點低，無法達到鍍制功能膜所需高溫，常規(guī)的真空磁控濺射工藝難以實現(xiàn)，加工制造難度非常大，所以有機玻璃表面導電功能膜系的制造必須采用特種工藝進行鍍制。為解決這一關鍵技術障礙，經(jīng)過公司技術人員努力，采用了低溫直流輝光等離子真空磁控濺射技術，在高等級潔凈凈化室內(nèi)，成功的在低溫基片上制備出高質(zhì)量的各類導電膜系。各類導電膜系具有透光性好，膜層致密，膜層阻值均勻，耐磨性能好等優(yōu)點。