深圳新益昌海威真空設備有限公司是上市公司深圳市新益昌科技股份有限公司投資成立的子公司;海威主要從事新能源/新材料、光電/半導體芯片、航空航天等行業(yè)的核心真空裝備的研發(fā)和制造，致力于為客戶提供高品質的真空設備和服務。

海威真空團隊在半導體、平板顯示、光伏、鋰電池等行業(yè)的薄膜沉積領域有多年的技術開發(fā)和成功案例，積累了豐富的市場、技術和人才資源。

核心產品和解決方案包括:XFD-PVS薄膜沉積綜合平臺、外延生長設備、卷繞鍍膜機、第三代半導體長晶爐、精密濺射系統(tǒng)、精密光學蒸鍍系統(tǒng)、連續(xù)鍍膜線、PECVD/ALD/MOCVD/MBE等，廣泛應用于消費電子、鋰電、光伏和半導體領域。

海威母公司新益昌成立于2006年，主要從事LED、電容器、半導體、鋰電池等行業(yè)智能制造裝備的研發(fā)、生產和銷售，為客戶實現(xiàn)智能制造提供先進、穩(wěn)定的裝備及解決方案。