集成電路用超純水設(shè)備系統(tǒng)工藝流程

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基本信息

集成電路超純水設(shè)備系統(tǒng)采用預(yù)處理、反滲透技術(shù)、超純化處理以及后級處理四大步驟，多級過濾、高性能離子交換單元、超濾過濾器、紫外燈、除TOC裝置等多種處理方法，電阻率方可達(dá)18.25MΩ*cm

1、采用離子交換方式，其流程如下：

原水→原水加壓泵→多介質(zhì)過濾器→活性炭過濾器→軟水器→精,密過濾器→陽樹脂過濾床→陰樹脂過濾床→陰陽樹脂混床→微孔過濾器→用水點(diǎn)

2、采用兩級反滲透方式，其流程如下：

原水→原水加壓泵→多介質(zhì)過濾器→活性炭過濾器→軟水器→精,密過濾器→,一級反滲透 →PH調(diào)節(jié)→中間水箱→第二級反滲透（反滲透膜表面帶正電荷）→純化水箱→純水泵→微孔過濾器→用水點(diǎn)

3、采用EDI方式，其流程如下：

原水→原水加壓泵→多介質(zhì)過濾器→活性炭過濾器→軟水器→精,密過濾器→一級反滲透機(jī)→中間水箱→中間水泵→EDI系統(tǒng)→微孔過濾器→用水點(diǎn)

標(biāo)準(zhǔn)參考

顯像管、液晶顯示器用純水水質(zhì)（經(jīng)驗(yàn)數(shù)據(jù)）

集成電路用純水水質(zhì)

國家電子級純水標(biāo)準(zhǔn)

中國國家電子級超純水規(guī)格 GB/T 11446.1-1997

地區(qū)：湖北武漢江夏區(qū)
網(wǎng)址: http://xz19539030624.glass.com.cn

產(chǎn)品屬性：
計(jì)量單位：臺供貨總量：888 最小起訂量：1 產(chǎn)品單價(jià)：8888.00 品牌：規(guī)格型號：包裝說明：