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供應標題:藍寶石襯底基片清洗機
價格:電儀
發(fā)布公司:北京華林嘉業(yè)科技有限公司
供貨總量:
聯(lián)系人:耿彪
發(fā)貨地點:北京
發(fā)布時間:2013年09月13日
有效期至:2013年10月13日
在線詢盤:在線詢盤
產(chǎn)品綜合信息質(zhì)量:
用途:用于沖洗過濾液壓系統(tǒng)在制造、裝配、使用過程及維護時生成或侵入的污染物
英文名:Cleaning Machine
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藍寶石襯底基片清洗機一、設備外型結(jié)構(gòu)及主要參數(shù)
名稱:藍寶石襯底基片清洗機。
控制模式: 手動控制模式 自動控制模式。
清洗能力:2-8英寸, 2籃/批,25片/籃。
需甲方提供花籃。
設備形式: 室內(nèi)放置型。
潔凈度:千級潔凈室 。
二、工藝流程細節(jié)及槽體布局及配置
工藝說明:手動方式實現(xiàn)放片,取片,槽體間傳送片。
工藝參數(shù)(溫度,時間,DI水清洗流量,時間)手動設定。
設備臺面布局按用戶要求配制。
CMP后自動清洗臺適用對象:藍寶石襯底晶片2 inch,25 Pcs/cassette;&n
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