型號(hào)

ZS、ZZS-600

ZS、ZZS-800

ZS、ZZS-1000

ZS、ZZS-1200

ZS、ZZS-1380

結(jié)構(gòu)形式

箱式前開門后置抽氣系統(tǒng)

真空室
（寬×深×高）mm

650×600×700

800×800×800

1000×1000×1200

ф1200×1200

ф1380×1250

較限壓力

5×10^-4Pa

6.7×10^-4Pa

恢復(fù)真空時(shí)間

從1×10⁵Pa抽至5×10^-3Pa ≤ 20min

電
子
束
蒸
發(fā)
源

270Oe型槍

加速電壓(KV) 6,10

數(shù)量（套）

1

1,根據(jù)用戶需要可安裝2套

坩堝容積

20ml×4槽

22ml×4槽

功率(kW)

6

10

電
阻
蒸
發(fā)
源

電阻蒸源

電壓（V）5,10

功率（kW）

2.5

2×2.5

2×5

水冷電較數(shù)量

2 對(duì)（交替蒸發(fā)）

2 對(duì)（同時(shí)蒸發(fā)）

工件架類型及尺
（mm）

拱型夾具
ф580

拱型夾具ф740,
星型夾具ф420×3
任選一種

拱型夾具ф950,
星型夾具ф650×3
任選一種

拱型夾具
ф1100

拱型夾具
ф1250

烘

烤

功率(kW)

4.5

9

13.5

溫度℃

350 數(shù)顯自動(dòng)控溫

離子

轟擊

電壓(V)

3000

電流(mA)

300

真空系統(tǒng)配置

KT-400擴(kuò)散泵2X-70,2X-4
機(jī)械泵

KT-600擴(kuò)散泵
ZJ-600 羅茨泵
2X-70，2X-15
機(jī)械泵

KT-600擴(kuò)散泵
ZJ-600羅茨泵
H-150，2X-15
機(jī)械泵

KT-600 擴(kuò)散泵
ZJ-600羅茨泵
H-150,2X-15
機(jī)械泵

KT-800擴(kuò)散泵
ZJ-600羅茨泵
H-150,2X-15
機(jī)械泵

光學(xué)膜控控儀

垂真光路,透、反射控制，波長(zhǎng)400nm-700nm

水冷系統(tǒng)

水壓(kpa)

約2.5×10²

水溫(℃)

＜ 25

壓縮空氣（kpa）

(4-6)×10²

總功率（kW）

26

36

56

60

65