真空鍍膜設(shè)備真空泵的較限壓強(qiáng)：真空鍍膜真空泵的較限壓強(qiáng)單位是Pa，真空鍍膜真空泵是指泵在入口處裝有標(biāo)準(zhǔn)試驗(yàn)罩并按規(guī)定條件工作，真空鍍膜真空泵在不引入氣體正常工作的情況下，趨向穩(wěn)定的較低壓強(qiáng)。
　　
　　真空鍍膜設(shè)備真空泵的抽氣速率：真空鍍膜真空泵的抽氣速率單位是m3/s或l/s，是指泵裝有標(biāo)準(zhǔn)試驗(yàn)罩，并按規(guī)定條件工作時(shí)，真空鍍膜真空泵從試驗(yàn)罩流過的氣體流量與在試驗(yàn)罩位置測得的平衡壓強(qiáng)之比。
　　
　　真空鍍膜設(shè)備真空泵的非常大工作壓強(qiáng)：真空鍍膜真空泵的非常大工作壓強(qiáng)單位是Pa，真空鍍膜真空泵是指對應(yīng)非常大抽氣量的入口壓強(qiáng)，在此壓強(qiáng)下，真空鍍膜真空泵能連續(xù)工作而不惡化或損壞。
　　
　　真空鍍膜設(shè)備真空泵的非常大前級壓強(qiáng)：真空鍍膜真空泵口非常大前級壓強(qiáng)單位是Pa，真空鍍膜真空泵是指超過了能使泵損壞的前級壓強(qiáng)。