真空傳感器是察覺吸著時的真空壓力，以數(shù)值表示真空度， 在設定了的真空度時發(fā)出輸出(電氣信號)的元件。測量壓力(正壓～負壓)的傳感器稱為「壓力傳感器」，其中 測真空壓用的稱為「真空傳感器」或「真空開關」。通常，力度強吸盤真空傳感器(真空開關)使用于確認是否吸附。SHIAN的真空傳感器(壓力傳感器)大體分為以下２種。①機械式通過壓力活塞等操縱開關(微型開關等)(使開關ON)的方式。 ※圖２０②電子式用叫「膈膜」的電子零部件檢出壓力，電子電路輸出(電氣信號)的方式。