一、產(chǎn)品簡介 KBX-618A是光電行業(yè)ITO專用蝕刻液，專門針對氧化銦錫(ITO)導(dǎo)電薄膜鍍層圖線的蝕刻， 它對于高阻抗ITO導(dǎo)電膜（PET-ITO）以及低阻抗ITO導(dǎo)電膜（PET-ITO）都且有優(yōu)良的蝕刻 速度與效果。具有速度快、側(cè)蝕小、無沉淀、氣味小、不攻擊抗蝕層，不攻擊基材，操作控 制簡便靈活等非常顯著的優(yōu)點(diǎn)，可采取自動控制系統(tǒng)補(bǔ)加，也可人工補(bǔ)加方式。

二、產(chǎn)品特點(diǎn) 速度快 市場之一般ITO蝕刻液速度大都在0.5nm/s，而KBX-618A酸性ITO蝕刻液蝕刻速度正常 控制在2-10nm/s,速度快（具體設(shè)備情況有所差異） 氣味小、無煙霧、對皮膚刺激低 目前市場蝕刻液一般有強(qiáng)烈之氣味，溫度升高后放出一種刺鼻氣味，對操作人員身體健康和工作環(huán)境極為不利，但KBX-618A酸性蝕刻液采用的是有機(jī)添加劑不含氯酸鹽劑本身之氣味，使用過程中，只具有輕微之酸氣。 側(cè)蝕小 因KBX-618A本身含有多種高效之防側(cè)蝕劑，可減少側(cè)蝕，并可以做高精度圖形。 適用性廣 全配方是通過嚴(yán)格的科學(xué)實(shí)驗(yàn)而選用的蝕刻原料，配以高分子材料保護(hù)劑，可適用于有機(jī)基材膜，及各類玻璃底材，不攻擊底材，不攻擊抗蝕膜，不影響生產(chǎn)材料導(dǎo)電阻抗數(shù)據(jù)。 5）用量 主要是工作件帶出損耗，更缸時(shí)間長，可連續(xù)作業(yè)一個(gè)月以上。 三、原理 KBX-618A酸性ITO蝕刻液里含有的高分子添加劑，多種助劑通過科學(xué)的組合配比遇ITO面上形成一種極薄的膜，通過噴射解體，壓力正面膜解結(jié)，圖形邊沿側(cè)面的膜因壓力太小而不解結(jié)，所以起到保護(hù)邊沿線路，防側(cè)蝕作用，而下面解結(jié)后，使氧化銦錫材料成份最外層電子運(yùn)行加速，使銦錫更活潑，使銦錫硅物質(zhì)更易變成離子溶液，從而促進(jìn)蝕刻有效反應(yīng)的加速進(jìn)行。 還有防沉淀劑及調(diào)整劑，保護(hù)劑，能在保證蝕刻快速進(jìn)行的條件下，防止蝕刻液對工作件基材的攻擊，以及防止對抗蝕層的攻擊。 平衡穩(wěn)定劑則能持續(xù)的保證蝕刻速度快速穩(wěn)定的進(jìn)行，防止速度波動過大，給生產(chǎn)操作帶來不便。 四、蝕刻原液規(guī)格 色澤：淡色透明澄清液體 比重：1.18± 0.06 酸價(jià)：5.0-7.0 N 儲存的溫度：5—35℃ 五、操作條件 范圍 適條件 比重： 1.12—1.24 1.18 溫度： 25—60℃ 50℃ 百分濃度( %)： 大于90% 大于95% 噴淋壓力： 20-35psi 30psi 補(bǔ)加方法： 1.自動控制方式可通過酸度控制器來實(shí)施，根據(jù)實(shí)際生產(chǎn)需要，設(shè)定相應(yīng)的酸度在5.0-7.0 N參數(shù)范圍，當(dāng)酸度低于參數(shù)值即自動補(bǔ)加 KBX-618A。 2.手動控制則當(dāng)生產(chǎn)時(shí)，根據(jù)液位帶出消耗情況，補(bǔ)加 KBX-618A液至原液位即可。同時(shí)采取人工控制取樣化驗(yàn)分析缸液的酸度值，酸度低于標(biāo)準(zhǔn)值，可進(jìn)行相應(yīng)補(bǔ)充 KBX-618A液 六、建浴方式(開缸) KBX-618A液： 100% 比重： 1.18—1.26 溫度： 30—50℃ 控制機(jī)器缸中蝕刻液百分濃度在90%以上. 七、問題、原因與對策說明 問題 原因 對策 速度慢 1． 酸含量太高或太低 2． 低溫 3． 壓力低 4.( %)濃度過低 調(diào)整酸含量或控制酸度設(shè)定值 升高溫度 調(diào)整壓力 補(bǔ)加KBX-618A液 側(cè)蝕太大 1． 壓力太高 2． 速度太慢 3． 膜厚度不均 4． 濃度過高 降低壓力 調(diào)整傳輸速度 改善鍍膜均勻度 調(diào)速補(bǔ)加頻率及消耗量 沉淀 1． 槽液過舊 2． 漏水 3． 酸度過低 清缸保養(yǎng)，更換槽液 檢查冷卻管或水洗水是否滲漏 補(bǔ)加 KBX-618A液 八、分析方法 1. 蝕刻液百分濃度( %)分析： 儀器 試劑 量筒100ml 甲基紅指示劑 錐形瓶250ml 0.1N NaOH標(biāo)準(zhǔn)液 移液管10ml 定容瓶100ml 分析步驟： 取10ml工作液。 加入100ml定容瓶中,并加入蒸餾水至刻度線,并搖勻. 從定容瓶中取10ml稀釋液于錐形瓶中,并加入50mlDI水或蒸餾水。 加入4-5滴甲基紅指示劑

。 以0.1N的標(biāo)準(zhǔn)溶液滴定至淡黃綠色為終點(diǎn)。 計(jì)算方法： 百分濃度( %)=滴定毫升數(shù)(0.1N NaOH)×1.508